等离子清洗机用的耗材跟传统清洗机不同，等离子清洗机是干法清洗，常用的工艺气体有氧气 (Oxygen, O2)、氩气 (Argon, Ar)、氮气 (Nitrogen, N2)、压缩空气 (Compressed Air, CDA)、二氧化碳 (Carbon, CO2)、氢气（hydrogen, H2）、四氟化碳（Carbon tetrafluoride, CF4）.

总体来说，传统清洗方法，尽管看起来便宜，但需要耗费大量的能源和环境为代价。这种方法的干燥过程非常缓慢，还需要消耗大量的能源。等离子体清洗技术消除了采用湿化学方法清洗中存在的各种危险，在清洗过程中也没有废液产生，传统清洗技术中所使用的化学试剂会对环境造成很大的危害，等离子体辅助清洗是一种能有效替代化学清洗的技术，是一种环境友好型的清洗技术，既安全又环保。而且等离子清洗机耗材跟传统清洗方法相比简直就是微乎其微。

等离子清洗机是将气体电离产生等离子体对工件进行表面处理，无论是进行清洗还是表面活化，为达到最佳的处理效果我们会选用不同的工艺气体。

等离子体清洗技术目前已经被广泛应用在金属、聚合物和陶瓷表面的清洗处理，对混合电路和印刷电路板表面残留金属物的去除，生物医学植入材料表面的消毒和清洗，硅晶片表面的清洗和考古文物的修复清洗等领域。