氧气等离子清洗机是采用电离空气的方式来获取等离子体，利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除。

    氧气是等离子清洗常用的活性气体,利用氧气等离子对处理物表面进行处理，这种方式属于物理+化学的处理方式,电离后产生的离子体能够对表面进行物理轰击,形成粗糙表面。同时高活性的氧离子能够与被断键后的分子链发生化学反应形成活性基团的亲水表面,达到表面活化的目的;氧气等离子体能除去材料表面污染物的作用，类似于使表面污染物，如油脂污垢发生燃烧反应;但不同之处是其在低温情况下发生的“燃烧”。其基本原理:在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下，被断键后的有机污染物的元素会与高活性的氧离子发生化学反应,形成CO、CO2、H2O等分子结构脱离表面,达到表面清洗、活化、蚀刻目的。

    等离子清洗机氧气主要应用于高分子材料表面活化及有机污染物去除,但不适用于易氧化的金属表面。通过氧气等离子体与固体表面的相互作用，消除固体表面的有机污染物，固体如：金属、陶瓷、玻璃、硅片等等，同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。

    真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色,部分放电条件下类似白色，放电环境光线比较亮,肉眼观察时可能会出现看不到真空腔体内有放电的情况。

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