射频等离子清洗机的作用原理：

  在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等体子体轰被清洗产品面．以达到清洗目的．主要是通过等离子体作用于产品表面使其产生一系列的物理、化学变化,利用其中所包含的活性粒子和高能射线,与表面有机污染物分子发生反应、碰撞形成小分子挥发性物质,从表面移除,实现清洁效果。

  PLASMA射频等离子清洗机基本系统的选择主要包括频率选择、空腔材质选择、真空泵选择机气路选择。

  plasma频率选择：

  现在通常使用的频率又40KHz和13.56MHz,20MHz。这三种积分频率的机制式不同的处理工艺，40KHz发生的反应主要为物理作用，而13.56MHz既有物理反应也有化学反应，20MHz主要发生化学反应。因此需要考虑工艺再进行选择。

  plasma空腔材质选择：

  现在通常使用的材料又：石英腔体、不锈钢腔体、铝合金腔体。

  石英腔体：温度较低，不容易发生反应

  铝材腔体：具有良好的加工性能；抗腐蚀性能强；材料对化学放映的兼容性较好，不易产生金属污染机其他污染等

  plasma真空泵的选择：

  油式真空泵是通过油来密封，润滑，降温的真空泵的统称。在真空等离子清洗机上最常用的一种油式真空泵就是旋片式真空泵。

  干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流体充当工作介质的一种真空泵。这样使得干式真空泵在洁净度方面更好，防止了油污染，所以干式真空泵大多用在对洁净度要求比较高的真空等离子清洗机上，比如说半导体领域、生物医疗领域以及航天航空领域等。在真空等离子清洗机上最常用的一种干式真空泵就是干式螺杆真空泵。

  每种真空泵的选择都可以根据客户实际需要而定。

  plasma气路选择：

  一般射频等离子清洗机都是两路气路，但这也不是能满足所有的处理要求，如果需要更多的反应气体，则可以增加，根据客户实际需要选择多路气路。

  最后确定射频等离子清洗机的型号机腔体尺寸还需要根据反应产品的尺寸和需要达到的生产能力计算，定制完成一台非常适合客户处理的设备。

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