有了解过等离子清洗设备的人都知道，等离子清洗是干法清洗，其中分为真空和大气压两种类型。顾名思义，大气压的使用环境就是常压，而真空即是真空环境下正常工作。真空清洗机在真空泵制造过程中制造一定的真空条件以满足清洗的需要，等离子体的清洗主要通过特定的气体分子在真空、放电等特殊场合，如低压气体辉光等。

真空等离子清洗原理：

  等离子体在电磁场中移动，轰击被处理工具表面。其中需要高能量和低压力，依靠原子和离子的最大速度是在表面被轰击就能实现，高能量会加快等离子体的速度，低压是增加原子碰撞前的平均距离所必需的，即平均自由距离、路径越长，离子轰击待清洁物质表面的概率越高。因此，等离子清洗后能达到活化、蚀刻效果，处理后的污垢和气体将被排放，腔体又会回到正常的大气压力。

真空等离子清洗流程：

  首先，将需要处理的工件固定在真空室内，将真空泵等设备启动真空放电至10pa左右；然后将处理气体引入真空室（根据不同清洗材料及工艺选择对应的反应气体），并保持压力在100pa左右；

  其次，在真空室内的电极和接地装置之间加入高频电压，使气体被渗透，等离子体被辉光放电离化；

  最后，待等离子体完全充满在真空室内后开始清洗操作，整个清洗过程将持续几十秒至几分钟（根据工艺需求设置）。当完成时,真空泵去除等离子室中的污染物，室里面的材料是清洁,就可以进行粘接或下一步程序。

  真空等离子清洗设备是高端的清洗设备，能够清洗其他清洗设备无法达到的清洁效果，经真空等离子体清洗过后，产品表面附着力大大提高，方便后续的粘接、印刷、喷涂等工序的进行，保证质量的可靠性和耐久性。

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