真空等离子体清洗设备可以清洁半导体元件，光学元件、电子元件、半导体元件、激光装置、涂层基板、终端装置等。同时还可以清洁光学镜片，清洁各种镜片和载玻片，如光学镜片、电子显微镜载玻片等；真空等离子清洗机具有性能稳定、性价比高、操作简单、成本低、易于维护的特点。可对金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等各种几何形状、不同表面粗糙度的物体进行表面改性，去除样品表面的有机污染物。

那么使用真空等离子清洗机之前应该注意哪些问题？

1、通气时间略长点，让气体纯化腔体

2、运行过程中需要关闭设备先关闭RF电源按钮，再破真空

3、连续处理时间不要太长，设备发热可能会影响处理效果，也会影响产品寿命

4、按照工艺步骤来，遵照金铂利莱真空等离子清洗机使用说明书。