前言：等离子清洗技术的应用，起源于20世纪初。随着高科技产业的快速发展，其应用越来越广，目前已在众多高科技领域中，居于关键技术的地位，等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响最大，首推电子工业，尤其是半导体业与光电工业。

  众所周知，太阳能光伏行业对清洁生产技术都非常严苛。太阳能极的硅片即使不要求达到电子级，但6个9的纯度也是很高的，等离子清洗技术诞生后，在切片等过程中，为清洗硅片上或多或少的污染物，等离子清洗技术已经成为经常使用的方法之一。 等离子技术是一新兴的领域，该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应。

01 等离子清洗技术处理太阳能电池板接线盒

  在太阳能电池板组件TPT背板粘接整流接线盒前采用AP800常压等离子表面处理，可使接线盒与背板粘接牢固度大幅提升，保证电池组件在高低温等恶劣的自然环境下正常工作，延长太阳能电池板使用寿命。

02 等离子清洗技术处理电池硅片边缘刻蚀

  微波等离子刻蚀机应用在太阳能电池硅片边缘隔离及背部表面氮化物或PSG（磷硅酸盐玻璃）去除，微波等离子系统具有RF射频刻蚀系统不可比拟的高刻蚀速率，另一方面直接微波等离子体技术使电池片温度保持在很低的水平从而避免产生热应力。

  等离子清洗已应用于各种电子元件的制造，可以确信，没有等离子清洗技术，就没有今日这么发达的电子、资讯和通讯产业。此外，等离子清洗技术也应用在光学工业、机械与航天工业、高分子工业、污染防治工业和量测工业上，而且是产品提升的关键技术，比如说光学元件的镀膜、延长模具或加工工具寿命的抗磨耗层，复合材料的中间层、织布或隐性镜片的表面处理、微感测器的制造，超微机械的加工技术、人工关节、骨骼或心脏瓣膜的抗摩耗层等皆需等离子技术的进步，才能开发完成。 

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